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    激光誘導結晶
    設備 | LIC
    激光誘導結晶設備 | LIC
    應用領域
    非晶材料的激光結晶及原位雜質激活
    產品特點
    • 全球首創,12寸量產設備

    • 高均勻性的全自主LIET光學系統

    • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

    • nS級精確脈寬控制

    型號LA2540G
    激光波長527nm
    晶圓尺寸12寸
    能量密度調控精度5mJ/cm2
    光斑頂部不均勻性率≤1%
    焦深范圍5mm
    工藝效果一次掃描完成結晶和激活工藝
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