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    激光誘導外延生長設備 | LIEG
    激光誘導外延生長設備 | LIEG
    應用領域
    納米尺度直徑、大深寬比孔內填充非晶材料激光誘導外延生長和void消除
    產品特點
    • 國內首創,12寸量產設備

    • 激光多脈沖高精度合束調控技術

    • 大光斑、高產能

    • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

    型號LA3381G
    激光波長532nm
    晶圓尺寸12寸
    能量調控精度5mJ/cm2
    光斑頂部不均勻性≤1%
    焦深范圍5mm
    工藝效果結晶及void消除
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