超精細(xì)激光加工，深度精確可控
自動(dòng)傳片、高精度定位
自動(dòng)檢測標(biāo)記效果
多重粉塵處理，最大限度控制顆粒度
| 型號 | WLM1120 / WLM2120 / WLM2130 |
| 激光波長 | 355/532nm |
| 激光功率 | 10W/15W@355nm, 15W/30W@532nm |
| 晶圓定位精度 | ±0.1mm |
| 標(biāo)記重復(fù)精度 | ±20μm |
| 單點(diǎn)直徑 | 45-80μm |
| 圓度 | >95% |
| 晶圓尺寸 | 6寸、8寸、12寸 |
| 字體 | 標(biāo)準(zhǔn)SIMI字體 |
